光蚀刻产生的特征其位置公差一般在图纸标称0.001英寸内。蚀刻的尺寸公差为材料厚度和板材尺寸的函数。五金加工一般规律是,公差越大,板材尺寸就越大,零件成本就越低。
可以实现的最小公差范围为:对于小于0.010英寸的厚度,为材料厚度的±10%。对于厚度为0.010~0.020英寸的零件,公差范围为±0.0015~±0.0025英寸。对于0.021~0.035英寸的厚度,最经济的公差为±0.005英寸。对于超出0.035英寸的厚度,尺寸公差带将近似等于材料厚度的±20%。
最小的孔或微型槽的尺寸,对于厚度在0.02英寸以内的材料,精密零件加工必须至少为材料厚度的110% ;对于厚度超出0.020英寸的金属,为材料厚度的120%。孔或槽之间最薄的区域必须至少等于材料厚度。内、外侧半径的最小尺寸等于材料厚度。
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