超精密特种加工是指一些利用力、热,声、光、电、磁、原子、化学等能源的物理的、化学的非传统加工方法实现的超精密加工零件。赵精密特种加工的范围很广,如电子束加工是指在真空中将阴极(电子枪)不断发射出来的电子向正极加速,并聚焦成极细的、能量密度极高的束流,高速运动的电子撞击到工件表面,动能转化为势能,使材料熔化、气化并在真空中被抽走。
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